AFMプローブ


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PMCL-AC240TM:OMCL-AC240TS 互換AFMプローブ

PMCL-AC240TSは、OMCL-AC240TSの高性能代替として設計された導電性AFMプローブです。 タッピングモードおよびノンコンタクトモードAFM測定に対応し、Olympusタイプのプローブに対応した多くのAFM装置とシームレスに互換性があります。

本製品は、タッピングモードによる幅広い用途および高分解能イメージングに対応し、安定した測定性能を提供します。表面形状評価やナノスケール解析において、信頼性の高い測定結果を実現します。

モデル名 / ブランド金属コーティング
PMCL-AC240TM / PYRAMID(探針側:なし/反射面:アルミニウム(Al))
PMCL-AC240TM 仕様
カンチレバー形状長方形
寸法(L x W x T, μm)240 × 40 × 2.3
共振周波数 (空気中, kHz)70(±20)
ばね定数(剛性, N/m)2(代表値)
材質シリコン(n型, 0.01–0.02 Ω・cm)
探針形状鋭利なテトラヘドラル構造(TipView対応形状)
長さ(µm)14
先端半径(nm)20(代表値)
探針角度(前面)
    (背面)35°
    (側面)対称形、ハーフコーン角9°以下
材質シリコン(n型, 0.1–0.4 Ω・cm)
チップ形状長方形断面、面取り加工されたチップ構造
寸法(L×W×T, mm)3.4 × 1.6 × 0.3
パッケージケース内チップ構成分離済みチップ
保管ケース粘着コーティング付きプラスチックケース

主な特長

  1. 電気測定に対応したプラチナコーティング
  2. 鋭利な先端形状と高い導電性を両立
  1. 高精度先端形状(Point-Terminated Tip)
  2. TipView構造
  3. 反射面アルミニウムコーティング
  4. 取り扱い性に優れた新構造チップ

1. 電気測定に対応したプラチナコーティング

シリコン基材上にチタンの中間層を介してプラチナ層が形成されています。

貴金属コーティングは酸化の影響を受けにくく、電気的に安定した特性を維持します。

また、プラチナ層は滑らかな表面を有しており、探針形状はベースとなるシリコンプローブの形状を忠実に保持しています。金属コーティングプローブとしては、先端半径約15 nm(公称)という高い鋭利性を実現しており、デバイス評価用途にも適しています。

2. 鋭利な先端形状と高い導電性の両立

下図に示すように、PMCL-AC240TMは、探針先端にプラチナコーティングを施しながらも、従来製品と比較して高い導電性を実現しています。

鋭利な先端形状を維持したまま電気特性を向上させており、表面形状および電気特性の双方を高精度に評価することが可能です。

3. 高精度先端形状(Point-Terminated Tip)

テトラヘドラル構造の探針は、理想的な鋭利先端形状を有しています。
また、カンチレバー前方から見た際に高い対称性を持つ形状となっています。

形状特性を踏まえ、走査方向(X方向)を適切に選択することで、より高精度な測定が可能です。また、ラインプロファイルおよび先端拡大観察による評価も推奨されます。

4. TipView構造

TipView構造により、探針を目的位置へ容易に位置合わせすることが可能です。
探針はカンチレバー先端に配置されており、光学観察時にも先端が遮られることはありません。

※上記はSEMによる拡大画像(左から正面・側面・前面方向)

5. 反射面アルミニウムコーティング

カンチレバーの反射面には、厚さ約100 nmのアルミニウム薄膜がコーティングされています。 AFM装置のたわみ検出センサーにおける光反射効率を高め、 高いS/N比での測定が可能です。

6. 取り扱い性に優れた新構造チップ

チップ側面は垂直に近い平行構造となっており、 ピンセットによる取り扱いが容易で、欠けや異物付着のリスクを低減します。