AFMプローブ


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PMCL-AC200TS:OMCL-AC200TS 互換AFMプローブ

PMCL-AC200TSは、OMCL-AC200TSの高性能代替として設計されたAFMプローブです。
タッピングモードおよびノンコンタクトモードAFM測定に対応し、Olympusタイプのプローブに対応した多くのAFM装置とシームレスに互換性があります。

本製品は、タッピングモードによる幅広い用途に対応し、安定した測定性能と再現性の高いイメージングを実現します。
中程度の共振周波数およびバネ定数により、さまざまな試料に対してバランスの取れた測定が可能であり、表面形状評価やナノスケール解析に適しています

モデル名 / ブランド金属コーティング
PMCL-AC200TS / PYRAMID(探針側:なし/反射面:アルミニウム(Al))
PMCL-AC200TS 仕様
カンチレバー形状長方形
寸法(L x W x T, μm)200 × 40 × 3.5
共振周波数 (空気中, kHz)150(±50)
ばね定数(剛性, N/m)9(代表値)
材質シリコン(n型, 0.01–0.02 Ω・cm)
探針形状鋭利なテトラヘドラル構造(TipView対応形状)
長さ(µm)14
先端半径(nm)7(代表値)
探針角度(前面)
    (背面)35°
    (側面)対称形、ハーフコーン角 9°以下
材質シリコン(n型, 0.1–0.4 Ω・cm)
チップ形状長方形断面、面取り加工されたチップ構造
寸法(L×W×T, mm)3.4 × 1.6 × 0.3
パッケージケース内チップ構成分離済みチップ
保管ケース粘着コーティング付きプラスチックケース

新型テトラヘドラルカンチレバーの主な特長

高分解能イメージングを実現する先端形状

各種試料への適用性

中程度の機械特性(共振周波数:150 kHz、バネ定数:9 N/m[代表値])を持つPMCL-AC200TSは、柔らかい試料から硬い試料まで幅広い測定に対応可能です。

一方、より高い剛性を持つPMCL-AC160TS(共振周波数:300 kHz、バネ定数:26 N/m)は、試料表面の構造を高精度かつ安定して観察する用途に適しています。

低抵抗シリコンカンチレバー

カンチレバーには、低表面抵抗(0.1~0.4 Ω・cm)のシリコン材料を使用しています。
これにより、従来のカンチレバーと比較して約1/20の抵抗値を実現しています。

TipView構造

探針はカンチレバーの最先端に配置されており、光学顕微鏡下でも先端位置を視認しやすく、正確な位置合わせを容易に行うことができます。

※上記はSEMによる拡大画像(左から正面・側面・前面方向)

高精度先端形状(Point-Terminated Tip)

探針はテトラヘドラル構造を採用し、理想的な鋭利先端形状を実現しています。
さらに、先端部は1 µm以上の領域にわたり追加加工が施されており、 高分解能な測定を可能にします。

新構造チップ設計

チップ側面は平行性を高く設計されており、ピンセットでの取り扱いが容易で、欠けや異物付着のリスクを低減します。

カンチレバーおよびチップ寸法

新構造チップは平行な側面を有しています。これにより、ピンセットによる取り扱いが容易となり、チップの欠損や異物付着の問題を低減します。

金属コーティング

カンチレバーの反射面には、厚さ約100 nmのアルミニウム薄膜がコーティングされています。これはAFM装置のたわみ検出センサーにおける光反射用途のためであり、高い反射率により優れたS/N比での測定が期待できます。