■ 製品概要 OMCL-AC160TS 互換AFMプローブ
■ 主な特長
PMCL-AC160TSは、OMCL-AC160TSの高性能代替として設計されたAFMプローブです。
タッピングモードおよびノンコンタクトモードAFM測定に対応し、Olympusタイプのプローブに対応した多くのAFM装置とシームレスに互換性があります。
本製品は、タッピングモードによる幅広い用途や高分解能イメージングに適しており、表面形状評価やナノスケール解析において安定した測定性能を提供します。
■ 仕様
| モデル名 / ブランド | 金属コーティング |
| PMCL-AC160TS / PYRAMID | （探針側：なし／反射面：アルミニウム（Al）） |
| PMCL-AC160TS 仕様 | ||
| カンチレバー | 形状 | 長方形 |
| 寸法(L x W x T, μm) | 160 × 40 × 3.7 | |
| 共振周波数 (空気中, kHz) | 300（±100） | |
| ばね定数(剛性, N/m) | 26（代表値） | |
| 材質 | シリコン（n型, 0.01–0.02 Ω・cm） | |
| 探針 | 形状 | 鋭利なテトラヘドラル構造（TipView対応形状） |
| 長さ（µm） | 14 | |
| 先端半径（nm） | 7（代表値） | |
| 探針角度（前面） | 0° | |
| （背面） | 35° | |
| （側面） | 対称形、ハーフコーン角 9°以下 | |
| 材質 | シリコン（n型, 0.1–0.4 Ω・cm） | |
| チップ | 形状 | 長方形断面、面取り加工されたチップ構造 |
| 寸法（L×W×T, mm） | 3.4 × 1.6 × 0.3 | |
| パッケージ | ケース内チップ構成 | 分離済みチップ |
| 保管ケース | 粘着コーティング付きプラスチックケース | |
■新型テトラヘドラルカンチレバーの主な特長
高分解能イメージングを実現する先端形状
各種試料への適用性
中程度の機械特性（共振周波数：150 kHz、バネ定数：9 N/m［代表値］）を持つPMCL-AC200TSは、柔らかい試料から硬い試料まで幅広い測定に対応可能です。
一方、より高い剛性を持つPMCL-AC160TS（共振周波数：300 kHz、バネ定数：26 N/m）は、試料表面の構造を高精度かつ安定して観察する用途に適しています。
低抵抗シリコンカンチレバー
カンチレバーには、低表面抵抗（0.1～0.4 Ω・cm）のシリコン材料を使用しています。
これにより、従来のカンチレバーと比較して約1/20の抵抗値を実現しています。
TipView構造
探針はカンチレバーの最先端に配置されており、光学顕微鏡下でも先端位置を視認しやすく、正確な位置合わせを容易に行うことができます。
※上記はSEMによる拡大画像（左から正面・側面・前面方向)
高精度先端形状（Point-Terminated Tip）
探針はテトラヘドラル構造を採用し、理想的な鋭利先端形状を実現しています。
さらに、先端部は1 µm以上の領域にわたり追加加工が施されており、 高分解能な測定を可能にします。
新構造チップ設計
チップ側面は平行性を高く設計されており、ピンセットでの取り扱いが容易で、欠けや異物付着のリスクを低減します。